FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI
Le produit peut varier en fonction du modèle ou des fonctionnalités
50% ¹ grâce au DPP+
Produit en interne et développé en permanence²
imbattable
¹ Amélioration significative de la déviation standard et donc de la capacité de mesure ou réduction significative du temps de mesure grâce au DPP+ par rapport au DPP.
² Optique polycapillaire en constante évolution. Optiques capillaires haut de gamme fabriquées par Fischer - le seul fabricant au monde d'instruments de mesure de la fluorescence X avec sa propre production de polycapillaires.
Mesure précise par XRF des microstructures sur les wafers.
Le FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ SEMI est la solution de mesure optimale pour l'inspection entièrement automatisée des microstructures sur les wafers. Le processus automatisé de manipulation et d'inspection des wafers garantit une très grande efficacité et permet une manipulation et une mesure sans erreur des wafers grâce à des conditions d'inspection constantes par le biais d'un environnement d'inspection encapsulé. Le détecteur puissant, le tube microfoyer Ultra et l'optique polycapillaire pour les plus petits points de mesure garantissent une performance de mesure exceptionnelle.
La solution d'automatisation est disponible en tant que solution préétablie. Bénéficiez d'une conception matérielle et logicielle existante. Ensemble, nous modifions et adaptons le dispositif d'automatisation en fonction de vos besoins.
Entièrement automatisé.
Parfaitement adapté à une utilisation 24h/24 et à des processus de mesure fluides.
Détails intelligents pour la facilité d'utilisation.
Surveillance CCTV intégrée de l'ensemble du processus de traitement.
Entretien facile.
Grandes trappes de maintenance pour l'accès aux composants individuels
Processeur d'impulsions numérique DPP+.
Temps de mesure plus courts ou amélioration de l'écart-type*
*par rapport au DPP
Compatible avec les salles blanches.
Pas de contamination des wafers et conditions de mesure constantes.
Programmable.
Mesures automatisées sur des structures prédéfinies grâce à une technologie avancée de reconnaissance de formes
Optique polycapillaire la plus avancée du marché.
Nos optiques polycapillaires fabriquées en interne fournissent des résultats de mesure exceptionnels avec des temps de mesure courts.
Idéal pour tester les microstructures grâce à un puissant détecteur de dérive au silicium et à une optique polycapillaire pour les plus petits points de mesure.
Avec le tube microfoyer Ultra, l'intensité de l'excitation est considérablement augmentée. Cela permet d'obtenir des mesures encore plus performantes avec des points de mesure plus petits.
Le robot de manutention charge l'appareil de mesure avec des wafers de 6", 8" et 12".
Accostage et chargement automatiques des wafers dans des FOUP et des cassettes standardisées.
Transmission, exploitation et exportation des données de mesure en temps réel avec WinFTM®, le logiciel d'application le plus puissant du marché.
Caractéristiques
DPP+ pour une précision maximale même avec des temps de mesure courts
Communication normalisée SECS/GEM
Tube microfoyer Ultra avec anode en tungstène pour une performance encore plus élevée sur les plus petits spots avec µ-XRF
Détecteur à dérive en silicium de 20 ou 50 mm² pour une précision maximale
Refroidissement à effet Peltier
Optique polycapillaire pour des points de mesure particulièrement petits d'une demi-largeur de 10 ou 20 µm
Compatible avec la livraison par OHT et AGV
4 filtres interchangeables
Table de mesure précise et programmable avec mandrin à vide pour wafers
Exemples d'application
- Métallisations de base dans le domaine du nanomètre
- Boules de soudure C4 et plus petites
- Capuchons de soudure minces sans plomb sur des piliers en cuivre
- Zones de contact extrêmement réduites et autres applications complexes d'emballage 2,5D et 3D
- Inspection entièrement automatisée des microstructures
Mesure de l'épaisseur du revêtement et analyse élémentaire des
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