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Précision et justesse élevées de la répétabilité des mesures de revêtement Au/Pd sur les leadframes (grilles de connexion)

Alors que l'industrie électronique utilise des revêtements de plus en plus minces, les fabricants augmentent leurs demandes en technologies de mesure pour fournir des paramètres fiables pour la surveillance et le contrôle des produits. Le système de revêtement Au/Pd/Ni est fréquemment utilisé dans la galvanoplastie de grilles de connexion, avec CuFe2 (CDA 195) comme substrat. Les épaisseurs de revêtement typiques sont comprises entre 3 à 10 nm d'Au et 10 à 100 nm de Pd. Pour contrôler la qualité de ces systèmes de revêtement, les instruments de fluorescence X se sont imposés comme la méthode de mesure de choix.

Une série de tests comparatifs employant d'autres méthodes de mesure physique a été utilisée pour déterminer les capacités des instruments de fluorescence X dans les plages mentionnées. Les échantillons ont été mesurés avec la méthode de fluorescence X en utilisant le modèle FISCHERSCOPE X-RAY XDV-SDD, la rétrodiffusion de Rutherford et les rayons X absolus basés sur le rayonnement synchrotron.

Pour des épaisseurs de revêtement Au d'environ 4, 6 et 9 nm, les résultats de mesure des instruments de fluorescence X se situaient tous entre les résultats des deux autres méthodes, avec des écarts dans la gamme sub-nm, confirmant non seulement la faible diffusion mais aussi la justesse de mesures à l'aide d'instruments à fluorescence X. La traçabilité des résultats de mesure est assurée par l'utilisation des étalons de calibration FISCHER développés spécifiquement pour cette application de mesure. La manipulation simple des instruments de fluorescence X permet également de scanner facilement un échantillon pour déterminer l'homogénéité de l'épaisseur du revêtement, si nécessaire (voir Fig. 2).

La combinaison d'une technologie de détection de pointe et du puissant logiciel d'analyse WinFTM® permet des mesures fiables et précises des épaisseurs de revêtement, même dans des plages inférieures à 10 nm. Pour une utilisation sur des cadres de connexion, les instruments FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-SDD sont recommandés pour les échantillons de taille relativement normale; pour les très petites structures, le modèle XDV®-µ, avec son optique à rayons X spéciale, assure un très petit point de mesure de seulement 20 µm sur l'échantillon.

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