Semi-conducteurs

Mesure de haute précision de l'épaisseur des revêtements et analyse des matériaux des multicouches et des microstructures ultra-minces
Comment mesurer et analyser de manière fiable des systèmes multicouches et des microstructures ultra-minces et complexes tout en maintenant les normes de contrôle de la qualité les plus élevées dans la fabrication des semi-conducteurs ?
Avec nos instruments XRF, nous vous proposons des solutions performantes pour mesurer avec précision l'épaisseur des revêtements et analyser les matériaux de vos semi-conducteurs en silicium et composés. Que vous ayez besoin d'un système entièrement automatisé ou d'un instrument de table compact, nous vous fournissons la bonne solution de mesure - également pour les applications électroniques!
Exigez le meilleur. Faites confiance à FISCHER.
mesure de la performance
solutions - adaptés à vos besoins
- intuitif, efficace, puissant
tailles minimales des taches
Service clientèle FISCHER
avec des pièces d'origine FISCHER
Applications
De nombreux clients de l'industrie des semi-conducteurs et de l'électronique font confiance à notre technologie de mesure dans le monde entier. La fiabilité, l'efficacité et, surtout, les performances de mesure les plus élevées du marché rendent nos instruments indispensables. Découvrez le large éventail d'applications, de l'emballage des plaquettes et de l'emballage avancé aux semi-conducteurs de haute puissance et aux applications électroniques, pour lesquelles nos solutions offrent des avantages réels et mesurables.

Cadres de plomb
Composants essentiels des processus d'emballage de base, les grilles de connexion servent de support mécanique et de connexion électrique entre la matrice et les connexions externes d'un boîtier. Ils sont souvent recouverts de multicouches complexes. Celles-ci comprennent généralement des couches d'or et de palladium d'une épaisseur de l'ordre du nanomètre, tandis que la couche de nickel a généralement une épaisseur de plusieurs micromètres. C'est la structure en filigrane de ce support de plomb qui rend les mesures très sujettes aux erreurs et complique le contrôle de la qualité. Découvrez comment vous pouvez relever ce défi avec nous !
Résolvez le problème avec FISCHER !
Nos appareils XRF polycapillaires, tels que le FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ, sont parfaitement adaptés à la mesure de l'épaisseur du revêtement sur les fils individuels des grilles de connexion.
Principales applications : mesure de l'épaisseur du revêtement de Au/Pd/NiP/CuFe et d'autres multicouches courantes.
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Plates-formes d'atterrissage
Dans les technologies d'emballage des semi-conducteurs, elles servent de points de contact de base sur une puce, par exemple pour attacher les fils lors du collage ou pour souder les bosses lors de l'emballage des puces. Les plaques d'atterrissage étant constituées de métaux tels que l'aluminium, le cuivre ou le nickel, elles sont généralement recouvertes d'un revêtement de protection ou de passivation afin d'éviter la corrosion et la diffusion des métaux. Vous recherchez une solution de mesure rapide et fiable ?
Résolvez le problème avec FISCHER !
Notre FISCHERSCOPE® XDV® innovant et notre instrument expert éprouvé FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-SDD sont particulièrement bien établis pour l'inspection fiable de la qualité des pistes d'atterrissage. Bien entendu, nos autres instruments XRF, tels que le FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ ou le FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER, sont également parfaitement adaptés à cette application.
Principales applications : mesure de l'épaisseur du revêtement d'un substrat Au/Pd/NiP/Cu/wafer, analyse des matériaux.
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BGA
Les réseaux de billes (BGA) sont un type de boîtier pour les circuits intégrés (IC) et les microprocesseurs utilisés pour le montage sur les circuits imprimés. Ils offrent une grande densité de connexions, qui sont disposées sous la forme d'une matrice microscopique de billes de soudure sous le boîtier. Découvrez comment nos solutions de mesure avancées permettent de tester les BGA de manière rapide et fiable !
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Découvrez ce qu'une inspection de qualité de haute précision signifie vraiment avec notre FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ! Analysez la composition des matériaux de vos alliages BGA - y compris la vérification de leur absence de plomb - de manière rapide, précise et fiable.
Principales applications : analyse des matériaux SnPb, SnAgCu
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UBM
Une métallisation sous bosse (UBM) de haute qualité est cruciale pour la performance et la fiabilité des connexions des puces à flip chip. Elle est généralement appliquée sur les pads métalliques afin de garantir une meilleure soudabilité et une meilleure adhérence des bosses de soudure à un stade ultérieur du processus. En outre, l'UBM forme une couche barrière contre la diffusion du métal et améliore ainsi la connexion entre la puce et le boîtier. Êtes-vous prêt à découvrir comment nos solutions vous aident à mesurer votre UBM ?
Résolvez le problème avec FISCHER !
Pour la mesure fiable de systèmes multicouches extrêmement fins et complexes tels que l'UBM, nous proposons nos instruments de table semi-automatiques FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ et FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER, ainsi que notre système haut de gamme entièrement automatisé FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI. Nos instruments XRF vous permettent de respecter les tolérances les plus étroites et de garantir les performances les plus élevées des appareils électroniques.
Principales applications : mesure de l'épaisseur du revêtement et analyse des matériaux des substrats Au/Ni/Ti/métal pad/wafer, Au/Ni/Cu/Ti/métal pad/wafer, Pd/Ni/Cu/métal pad/wafer.
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Bosses de soudure
Dans les processus de flip chip ou d'emballage avancé, tels que les technologies d'emballage au niveau de la plaquette, 2,5D et 3D, les bosses de soudure, les bosses de pilier en cuivre et les bosses en or sont utilisées pour connecter les puces au substrat ou aux plaquettes sur un substrat (CoWoS). Pour des raisons de fonctionnalité et de coût, la composition exacte du matériau - en particulier la concentration en SnAg - des différents types de bosses ainsi que l'épaisseur du revêtement jouent un rôle majeur. Découvrez nos solutions de mesure pour relever ce défi !
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Avec nos instruments XRF haut de gamme, tels que le FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ, le FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER et le FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI, vous mesurez avec précision la composition du matériau, la hauteur et l'épaisseur du revêtement de vos bosses.
Principales applications : analyse des matériaux et mesure de la hauteur des bosses de soudure et de piliers en cuivre avec des compositions telles que Sn/Ag ou SnAg/Cu avec Ag entre 1 % et 3 %, mesure de l'épaisseur du revêtement des bosses en or telles que Au/Ni/Cu/UBM/tampon métallique/substrat du wafer.
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RDL
Les couches de redistribution (RDL) sont des composants essentiels de l'emballage au niveau de la plaquette (WLP), en particulier dans les technologies de pointe telles que l'emballage à l'échelle de la plaquette (Wafer-Level Chip Scale Packaging, WLCSP). Elles sont utilisées pour redistribuer les positions de connexion d'une puce de manière à ce qu'elles correspondent à une disposition normalisée pour différents modèles d'emballage. Comme les pistes conductrices des RDL sont principalement composées de cuivre, de fines couches de titane, de chrome ou de nickel sont également appliquées pour empêcher la diffusion du cuivre dans les matériaux isolants et pour obtenir une meilleure adhérence. Vous voulez savoir comment nos solutions de mesure peuvent vous aider ?
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Mesurez vos RDL avec une grande précision et fiabilité en utilisant notre FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ, FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER ou FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI.
Principales applications : analyse des matériaux et mesure de l'épaisseur du revêtement des RDL, par exemple Ti/Cu.
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Métallisation de la face arrière
La métallisation de la face arrière est une étape clé du processus de fabrication des semi-conducteurs et des capteurs de haute puissance, par exemple les capteurs MEMS. En sélectionnant soigneusement les couches et leur séquence de combinaison, la métallisation de la face arrière peut être adaptée de manière optimale aux exigences spécifiques du composant semi-conducteur concerné en termes de propriétés électriques, mécaniques et thermiques. Vous recherchez une solution de mesure pour tester vos métallisations de la face arrière ?
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Avec notre successeur de table innovant FISCHERSCOPE® XDV® ou notre expert éprouvé FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-SDD, vous pouvez mesurer avec précision l'épaisseur et la composition de vos métallisations de la face arrière et garantir la qualité de votre processus de revêtement. Parfaitement adaptés à votre tâche de mesure et à vos besoins, nous proposons également des solutions personnalisées, par exemple nos mandrins pour plaquettes pour mesurer des couches de métal plus épaisses.
Principales applications : mesure de l'épaisseur des revêtements et analyse des matériaux des systèmes multicouches courants, par exemple Ag/Ni/Ti/Al/substrat de la plaquette.
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Contacts à ressort / Pogo pins
Les broches à pogo, ou broches à ressort, sont des mécanismes de connexion électrique placés sur les plaquettes pour le test des plaquettes à l'aide de cartes à sonde. Pour obtenir des résultats absolument fiables lors de ce processus de test, les revêtements fonctionnels des pogo pins doivent être de haute qualité. Découvrez comment nos solutions de mesure avancées permettent de tester les broches à pignon de manière simple et précise !
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Mesurez vos pogo pins avec notre FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ ou FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ LD pour les contacts à ressort de forme complexe.
Principales applications : mesure de l'épaisseur du revêtement, par exemple d'un alliage Au/Ni/Cu.
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Nos solutions pour relever vos défis

Les appareils polyvalents haut de gamme.
Principales applications
Métallisation de la face arrière, plaques d'atterrissage, microplaques, filtrage RoHS
Vos défis
- Mesure de nombreux alliages différents et de multicouches complexes
- Mesure d'échantillons de petite et grande taille
- Analyses d'éléments traces à des limites de détection très basses
Les points forts de nos produits
- Différentes tailles de collimateurs jusqu'à 3 mm et filtres pour une utilisation universelle
- Précision maximale et mesures courtes grâce à des composants et une géométrie de mesure optimisés
- Table de mesure programmable pour des mesures automatisées
- Logiciel leader sur le marché avec des flux de travail efficaces

Principales applications
Lead frames, fils fins, points de soudure, micropads, composants SMD, pogo pins, BGAs, UBMs, RDLs
Vos défis
- Mesure sur microstructures
- Mesure d'échantillons plats et de multicouches ultra-minces
Les points forts de nos produits
- Diverses options de filtres, de détecteurs et d'optiques polycapillaires pour des points de mesure plus petits et une plus grande précision
- Boîtier à rainure en C pour une manipulation aisée des échantillons plats et de grande taille
- Logiciel leader sur le marché pour les tâches de mesure difficiles

Les plus petites taches, la plus grande distance de mesure.
Principales applications
Circuits imprimés assemblés, connecteurs, broches pogo
Vos défis
- Traiter des échantillons de tailles différentes et de formes complexes
- Mesurer des échantillons avec des assemblages ou des niveaux différents
- Mesure sur des microstructures
- Mesure de multicouches ultra-minces
Nos produits phares
- Mesure des plus petites caractéristiques sur des échantillons de forme complexe grâce à notre optique polycapillaire unique de 35 µm avec une grande distance de mesure, par exemple pour les wafers présentant un gauchissement potentiel.
- Boîtier à rainure en C pour une manipulation aisée des échantillons plats et de grande taille
- Logiciel leader sur le marché pour les tâches de mesure difficiles

Principales applications
Bosses de soudure, bosses de pilier en cuivre, bosses en or, petites surfaces de contact, micro-pads, UBM, RDLs
Vos défis
- Mesurer des couches minces et des microstructures sur des wafers de 6'' à 12'' de diamètre
- Traiter les plaquettes présentant un gauchissement potentiel
- Répondre aux exigences des salles blanches
Les points forts de nos produits
- Diverses options de détecteurs et d'optiques polycapillaires pour une précision maximale sur les couches minces
- Mandrin à vide pour gaufrettes ou manipulation personnalisée des gaufrettes avec aplatissement mécanique
- Options d'automatisation étendues avec un logiciel leader sur le marché

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI
Le premier choix pour la mesure automatisée des wafers.
Principales applications
Bosses de soudure, bosses de pilier en cuivre, bosses en or, petites surfaces de contact, micro-pads, UBM, RDLs
Vos défis
- Automatisation de votre processus de mesure des wafers
- Gestion d'un débit élevé
- Traiter les plaquettes susceptibles de se déformer
- Répondre aux exigences des salles blanches
Nos produits phares
- Système de mesure entièrement automatisé avec FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER intégré et système de manipulation automatisé des gaufrettes.
- Diverses options de détecteurs et d'optiques polycapillaires pour une précision maximale sur les couches minces
- Logiciel leader sur le marché pour augmenter votre efficacité
La bonne solution pour votre tâche de mesure.
Construction de systèmes personnalisés sur demande, entièrement ou semi-automatique. En fonction de votre application, nous mettons en œuvre des étapes de processus supplémentaires, telles que l'aplatissement mécanique des wafers. En collaborant avec des partenaires d'intégration locaux, nous évitons les longs délais d'exécution.
Nous proposons également d'autres méthodes de mesure que le XRF. Pour plus d'informations, veuillez nous contacter directement.