A medida que la industria electrónica utiliza recubrimientos cada vez más finos, los fabricantes aumentan sus demandas de tecnologías de medición para proporcionar parámetros fiables para el control del producto. Un ejemplo es el sistema de placa de circuito impreso Au / Pd / Ni / Cu / con espesores de recubrimiento para Au y Pd de solo unos pocos nm. Para controlar la calidad de estos sistemas de recubrimiento, los instrumentos de fluorescencia de rayos X se han establecido como el método de medición elegido.
Cuanto más delgados son los recubrimientos, más importante se vuelve seleccionar un detector adecuado. La Tabla 1 muestra una comparación de los resultados de los instrumentos FISCHERSCOPE® X-RAY equipados con un tubo contador proporcional, diodo PIN y detector de deriva de silicio (SDD) respectivamente.
| 50 nm Au | 24 nm Pd | |||
| Tipo de detector | Desviación estándar | Coeficiente de variación | Desviación estándar | Coeficiente de variación |
| tubo contador proporcional (apertura de 0,2 mm) | 2,2 nm | 4,3% | 3 nm | 13% |
| Detector PIN (Apertura de 1 mm) | 0,9 nm | 1,8% | 1,2 nm | 4,8% |
| Detector SDD (Apertura de 1 mm) | 0,2 nm | 0,4% | 0,5 nm | 2,1% |
Como se muestra en la Tabla anterior, la precisión de las medidas es significativamente superior del SDD y permite la medición precisa incluso de recubrimientos de Au y Pd muy finos.
La fiabilidad también es mejor para los instrumentos con SDD porque la resolución de alta energía de la señal es menos susceptible a la influencia del fondo o las líneas de fluorescencia adyacentes.
El tratamiento adecuado de la señal de fluorescencia generada por el material del sustrato es muy importante con los recubrimientos finos. Si bien una sustracción general de la señal de fondo mejora la precisión de repetibilidad, también puede introducir errores en los resultados. El software de evaluación WinFTM ® permite tener en cuenta la composición específica del material del sustrato con cada medición.
Su persona de contacto local para los productos FISCHER estará encantado de ayudarle a seleccionar un instrumento de fluorescencia de rayos X adecuado para medir recubrimientos Au / Pd en placas de circuitos impresos - FISCHERSCOPE® X-RAY XDL® con tubo contador proporcional , XDAL® con detector PIN o XDV®- SDD con detector SDD.