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Recubrimientos de Au / Pd en el rango nm en placas de circuito impreso

A medida que la industria electr贸nica utiliza recubrimientos cada vez m谩s finos, los fabricantes aumentan sus demandas de tecnolog铆as de medici贸n para proporcionar par谩metros fiables para el control del producto. Un ejemplo es el sistema de placa de circuito impreso Au / Pd / Ni / Cu / con espesores de recubrimiento para Au y Pd de solo unos pocos nm. Para controlar la calidad de estos sistemas de recubrimiento, los instrumentos de fluorescencia de rayos X se han establecido como el m茅todo de medici贸n elegido.

Cuanto m谩s delgados son los recubrimientos, m谩s importante se vuelve seleccionar un detector adecuado. La Tabla 1 muestra una comparaci贸n de los resultados de los instrumentos FISCHERSCOPE庐 X-RAY equipados con un tubo contador proporcional, diodo PIN y detector de deriva de silicio (SDD) respectivamente.

Varios tipos de detectores y sus correspondientes desviaciones est谩ndar y coeficientes de variaci贸n obtenidos.
 
50 nm Au
 
24 nm Pd
 

Tipo de detector

Desviaci贸n est谩ndar


Coeficiente
de variaci贸n

Desviaci贸n est谩ndar


Coeficiente
de variaci贸n


tubo contador
proporcional (apertura de 0,2 mm)

2,2 nm

4,3%

3 nm

13%

Detector PIN
(Apertura de 1 mm)

0,9 nm

1,8%

1,2 nm

4,8%

Detector SDD
(Apertura de 1 mm)

0,2 nm

0,4%

0,5 nm

2,1%

El tratamiento adecuado de la se帽al de fluorescencia generada por el material del sustrato es muy importante con los recubrimientos finos. Si bien una sustracci贸n general de la se帽al de fondo mejora la precisi贸n de repetibilidad, tambi茅n puede introducir errores en los resultados. El software de evaluaci贸n WinFTM 庐 permite tener en cuenta la composici贸n espec铆fica del material del sustrato con cada medici贸n.

Su persona de contacto local para los productos FISCHER estar谩 encantado de ayudarle a seleccionar un instrumento de fluorescencia de rayos X adecuado para medir recubrimientos Au / Pd en placas de circuitos impresos - FISCHERSCOPE庐 X-RAY XDL庐 con tubo contador proporcional , XDAL庐 con detector PIN o XDV庐- SDD con detector SDD.

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