FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI
El producto puede variar según el modelo o las características
rendimiento gracias a DPP+
en desarrollo constante².
relación costo-beneficio
¹ Mejora significativa de la desviación típica y, por tanto, de la capacidad de calibración o reducción significativa del tiempo de medición en comparación con DPP.
² Óptica policapilar en continuo desarrollo. Óptica capilar de alta calidad fabricada por Fischer - el único fabricante mundial de instrumentos de medición de fluorescencia de rayos X con producción propia de policapilares.
Medición XRF precisa de microestructuras en obleas.
El FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ SEMI es la solución de medición óptima para la inspección totalmente automatizada de microestructuras en obleas. El proceso automatizado de manipulación e inspección de obleas garantiza una eficiencia muy elevada y permite manipular y medir obleas sin errores gracias a unas condiciones de inspección constantes mediante un entorno de inspección encapsulado. El potente detector, el tubo de microenfoque Ultra y la óptica policapilar para los puntos de medición más pequeños garantizan un rendimiento de medición excepcional.
La solución de automatización está disponible como solución prediseñada. Aproveche el diseño de hardware y software existentes. Podemos modificar y adaptar el dispositivo de automatización según sus requisitos.
Totalmente automatizada.
Perfectamente adaptado para uso 24/7 y procesos de medición fluidos
Detalles inteligentes para mayor facilidad de uso.
Supervisión CCTV integrada de todo el proceso de manipulación
Mantenimiento sencillo.
Amplias escotillas de servicio para acceder a los distintos componentes
Procesador digital de impulsos DPP+.
Tiempos de medición más cortos o mejora de la desviación estándar*.
*en comparación con el DPP
Compatible con salas blancas.
Sin contaminación de las obleas, así como condiciones de medición constantes.
Programable.
Mediciones automatizadas en estructuras predefinidas gracias a la avanzada tecnología de reconocimiento de patrones
La óptica policapilar más avanzada del mercado.
Nuestras ópticas policapilares de fabricación propia ofrecen resultados de medición extraordinarios con tiempos de medición cortos.
Ideal para ensayos de microestructuras gracias al potente detector de deriva de silicio y a la óptica policapilar para los puntos de medición más pequeños.
Con el tubo microfocal Ultra, la intensidad de excitación aumenta considerablemente. Esto garantiza un rendimiento de medición aún mejor con los puntos de medición más pequeños.
El robot de manipulación carga el dispositivo de medición con obleas de 6", 8" y 12".
Acoplamiento y carga automáticos de obleas en FOUP y casetes normalizados.
Transmisión, evaluación y exportación de datos de medición en tiempo real con WinFTM®, el software de aplicación más potente del mercado.
Características
DPP+ para la máxima precisión incluso con tiempos de medición cortos
Comunicación normalizada SECS/GEM
Tubo de microenfoque Ultra con ánodo de tungsteno para un rendimiento aún mayor en los puntos más pequeños con µ-XRF
Detector de deriva de silicio de 20 o 50 mm² para máxima precisión
Refrigeración Peltier
Óptica policapilar para puntos de medición especialmente pequeños de 10 ó 20 µm de semiancho
Compatible con la entrega mediante OHT y AGV
Filtro cuádruple intercambiable
Mesa de medición precisa y programable con plato de vacío para obleas.
Ejemplos de aplicación
- Metalizaciones base en el rango nanométrico
- Bolas de soldadura C4 y más pequeñas
- Capas finas de soldadura sin plomo en pilares de cobre
- Áreas de contacto extremadamente pequeñas y otras aplicaciones complejas de embalaje en 2,5D y 3D
- Inspección totalmente automatizada de microestructuras
Medición del espesor del recubrimiento y análisis elemental de:
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