FISCHERSCOPE X-RAY XDV-μ SEMI

Características

Instrumento especial para medidas automatizadas de capas finas y sistemas multicapa en obleas hasta las 12 pulgadas de diámetro
Tubo Ultra microenfocus con ánodo de tungsteno para un rendimiento mayor en los puntos más pequeños con µ-XRF; ánodo de molibdeno opcional
4x filtro intercambiable
La óptica policapilar permite puntos de medición especialmente pequeños de 10 o 20 µm FWHM y una resolución local óptima
Detector de deriva de silicio (SDD) de 50 mm² para una máxima precisión en capas finas
La manipulación totalmente automático de obleas y de los ensayos aumentan la eficiencia
Sistema XRF con excelente sensibilidad del detector y alta resolución
El reconocimiento automático de formas identifica las posiciones a medir
Múltiples modos de operación; medición manual posible siempre que sea necesario
Flexible: estación de acoplamiento para FOUP, SMIF y cassette, para obleas de 6 ", 8" y 12 "
Procesador de pulsos digitales DPP+. Tiempos de medición aún más cortos con la misma desviación estándar*
_{*En comparación con el DPP}

Aplicaciones

Medición del espesor del recubrimiento

Capas de metalización base (UBM) a escala nanométrica
Capas finas de soldadura sin plomo en pilares de cobre
Superficies de contacto extremadamente pequeñas y otros complejos 2.5D / 3D aplicaciones de embalaje

Análisis de materiales

C4 y pequeñas protuberancias de soldadura
Puntos de soldadura sin plomo en pilares de cobre

El sistema XRF automatizado para inspeccionar microestructuras en obleas

Diseñado para el control de calidad en la industria de semiconductores, el FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ SEMI mide con precisión las microestructuras en las obleas, de forma totalmente automática. Toda la unidad de automatización está cerrada y, por lo tanto, es perfectamente adecuada para su uso en salas limpias. Las cápsulas FOUP y SMIF se pueden acoplar automáticamente al sistema de medición. El manejo y la medición dentro del XDV-μ SEMI se realiza completamente sin intervención manual. Gracias al reconocimiento de formas, el instrumento ubica las posiciones de medición especificadas de forma precisa y confiable. Este proceso de medición automática descarta el daño y la contaminación causados por el manejo manual y garantiza altas tasas de rendimiento para inspeccionar obleas valiosas.