FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER
Präzision auch bei kurzen Messzeiten
mit kleinster Spotgröße 10 µm (FWHM)
für sichere Messungen kleiner Strukturen
¹ Bis zu 50 % verbesserte Performance: Signifikant bessere Standardabweichung und somit Messmittelfähigkeit oder deutlich verkürzte Messzeit im Vergleich DPP zu DPP+.
² High-End Kapillaroptiken Made by Fischer – weltweit einziger Hersteller von Röntgenfluoreszenz-Messgeräten mit eigener Fertigung von Polykapillaroptiken. Drei verschiedene High-End-Polykapillaroptiken verfügbar – für jede Ihrer Anwendungen die passende Lösung: 10 µm halofrei, 20 µm halofrei oder 20 µm standard.
Erfüllt alle Anforderungen an die exakte Wafer-Kontrolle
Durch den programmierbaren Messtisch mit Vakuum-Wafer-Chuck sowie Mikrofokus-Röhre Ultra ist das FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER optimal zugeschnitten auf die Bedürfnisse der Halbleiterindustrie. Die in das XRF-Gerät eingebaute Polykapillaroptik bündelt die Röntgenstrahlung auf kleinste Messflecke von 10 oder 20 µm für kurze Messzeiten bei hoher Intensität. So können Sie einzelne Mikrostrukturen wesentlich genauer analysieren als mit herkömmlichen Geräten – und das vollständig automatisiert.
Vollständig integrierte Lösung.
XDV®-μ SEMI kombiniert mit Waferhandler Ihrer Wahl
Genau und exakt.
Positionierung des Messpunkts auf kleinen Strukturen dank automatischer Bilderkennung
Allen Herausforderungen gewachsen.
Sichere und schnelle Ergebnisse für ambitionierte Messaufgaben
Vollständig automatisierbar.
Lassen Sie Ihr Gerät mit nur einem Klick für sich arbeiten
Fortschrittlichste Polykapillaroptik auf dem Markt.
Unsere inhouse gefertigten Polykapillaroptiken liefern herausragende Messergebnisse bei kurzen Messzeiten
Digitaler Pulsprozessor DPP+.
Noch kürzere Messzeiten mit derselben Standardabweichung*
*Im Vergleich zum DPP
Spezialgerät für automatisierte Messungen dünner Schichten und Mehrfach-Schichtsystemen auf Wafern mit Durchmessern von 6 bis 12 Zoll.
Mit der Mikrofokus-Röhre Ultra wird die Anregungsintensität deutlich erhöht. Dies sorgt für eine noch höhere Messperformance bei kleinsten Messflecken.
Polykapillaroptiken erlauben besonders kleine Messflecke von 10 oder 20 µm FWHW und eine optimale örtliche Auflösung.
Echtzeit-Übertragung, Auswertung und Export der Messdaten mit WinFTM®, der leistungsstärksten Anwendungssoftware auf dem Markt.
Merkmale
Mikrofokus-Röhre Ultra mit Wolframanode für noch höhere Leistung bei kleinsten Spots mit µ-XRF; Molybdänanode optional
DPP+ für höchste Präzision auch bei kurzen Messzeiten
4-fach wechselbarer Filter
Inhouse gefertigte Polykapillaroptiken erlauben besonders kleine Messflecke mit hoher Intensität
Messfleck ca.: Ø 10 oder 20 µm (FWHM)
Bis zu 5 mm Probenhöhe möglich
Silizium-Drift-Detektor mit 20 oder 50 mm² für höchste Präzision bei dünnen Schichten
Vakuum-Tisch mit Aufnahmen für alle Standard-Waferformate von 150 - 300 mm
Umfangreiche Möglichkeiten zur Automatisierung mit WinFTM®
Anwendungsbeispiele
- Messungen von kleinsten Strukturen auf Wafern bis zu 12 Zoll Durchmesser
- Analyse sehr dünner Beschichtungen, z. B. Gold-/Palladiumschichten bis < 10 nm
- Automatisierte Messungen z. B. in der Qualitätskontrolle
- Bestimmung komplexer Mehrschichtsysteme
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