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Unschlagbar in der automatisierten Terahertz-Messung

Automatisierte Messlösungen zur zerstörungsfreien und berührungslosen Schichtdickenmessung von organischen Einfach- und Mehrfachschichten mit THz

Vorteile

  • Marktführende Messperformance: Unübertroffene 6 THz Bandbreite für höchste Präzision und Wiederholgenauigkeit
  • Patentierte Clean-Trace Technology: Trockenluftspülung für beste Messperformance und unverfälschte Ergebnisse
  • Integrierter 3D-Scanner: Mit Positionierungs-Sensoren auch für runde Oberflächen und komplexe Bauteilformen
  • Schwingungskompensation: Einzigartige 1,6 KHz Samplingrate kompensiert intrinsisch alle unerwünschten Vibrationen
  • Einfache Integration: Hard- und Software konzipiert für den Einsatz am Roboter wie auch in Leitsystemen
  • Hohe Zuverlässigkeit: Robust, wartungsarm und entwickelt für den unterbrechungsfreien 24/7-Einsatz
  • Elektrooptisches Messen: Keine beweglichen mechanischen Teile garantieren maximale Betriebszeit

Merkmale

  • Spotgröße: 1 mm
  • Bandbreite: Bis zu 6 THz
  • Erfassungsgeschwindigkeit (THz-Tracerate): 1,6 KHz
  • Messzeit: Wenige Sekunden
  • Positionierungszeit: < 1 - 3 s je nach Anwendung bei einer Genauigkeit von < 0,05 µm
  • Messbereich: 10 μm bis zu mehreren Millimetern
  • Anzahl der Schichten: Bis zu 7
  • Messabstand: 7 cm
  • Genauigkeit: < 1 μm oder 1 % der Schichtdicke, je nach Anwendung
  • Wiederholgenauigkeit: < 0,1 μm, je nach Anwendung

Anwendungen

  • Schichtdickenmessung von organischen Einzel- und Mehrfachschichten auf Kunststoff oder Metallsubstraten
  • Schichtdickenmessung von trockenen, nassen und weichen Beschichtungen
  • Berührungslose Leitfähigkeitsmessung (z. B. Solarzellen, Wafer 2DEG, Graphene)
  • Qualitätskontrolle und zerstörungsfreie Prüfung (NDT), Bildgebung durch das Material, Erkennung von versteckten Defekten, Spektroskopische Messungen
  • Materialcharakterisierung und -entwicklung

Präziser. Genauer. Schneller. Konzipiert für eine maximale Betriebszeit überzeugt das robuste TERASCOPE® mit unübertroffener 6 THz Bandbreite und bietet dadurch eine marktführende Messperformance. Speziell für die Messung von Mehrschichtsystemen entwickelt, kann das automatisierte Messsystem jede einzelne Schicht detektieren und deren Eigenschaften bestimmen - berührungslos, zerstörungsfrei und präzise. Und das in nur einem einzigen Arbeitsschritt und vollautomatisch. Durch die patentierte Schwingungskompensation gleicht das Gerät automatisch alle unerwünschten Vibrationen aus.

Egal bei welchen Grundwerkstoffen, egal in welcher Industrie. Integrieren Sie das TERASCOPE® ganz einfach in Ihren Qualitätssicherungsprozess und arbeiten Sie mit weltweit einzigartiger Präzision, Genauigkeit und Geschwindigkeit.

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Wie funktioniert die Terahertz-Messung?

Die verwendete Terahertz-Strahlung besteht aus elektromagnetischen Wellen mit Frequenzen zwischen 0,1 und 10 THz. Somit ist diese Strahlung kurzwelliger als Mikrowellen aber langwelliger als sichtbares Licht. Das Besondere an der THz-Strahlung ist, dass sie viele Schichten durchdringen kann. Jede einzelne Schicht innerhalb eines Mehrschichtsystems kann separat erfasst werden.

Die Terahertz-Strahlung wird im Messkopf von einer optoelektronischen Einheit mit einem Laser erzeugt. Damit wird ein ultrakurzer Terahertz-Puls ausgesendet, der auf die Probe gesendet wird. Dieser Puls durchdringt die verschiedenen Schichten. An den Übergängen zwischen den Schichten wird die Strahlung zum Teil reflektiert. Diese Echo-Impulse kommen mit charakteristischen Zeitunterschieden am Detektor an. Da jede Schicht und jedes Material spezifische Absorptionsspektren aufweisen, lassen sich aus den Signalverläufen einzelne Schichten und ihre Schichtdicke präzise ermitteln sowie weitere Parameter wie Homogenität und Porosität erschließen.

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