Wir sind für Sie da.

Helmut Fischer GmbH
Institut für Elektronik und Messtechnik

Industriestraße 21
71069 Sindelfingen
Deutschland

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI

Erste Wahl für die automatisierte Wafer-Messung.

Spezialgerät für automatisierte Messungen und Analysen von kleinsten Strukturen, sehr dünner Beschichtungen und Mehrschichtsystemen auf Wafern mit Durchmessern bis 12 Zoll.

 

Bis zu 50% ¹ verbesserte
Performance dank DPP+
Polykapillaroptik
Inhouse produziert & konstant weiterentwickelt²
Unschlagbares
Kosten-Nutzen-Verhältnis
¹ ² Mehr anzeigen
Weniger anzeigen

¹ Signifikant bessere Standardabweichung und somit Messmittelfähigkeit oder deutlich verkürzte Messzeit im Vergleich DPP zu DPP+.
² Polykapillarlinsen, welche ständig weiterentwickelt werden. High-End Kapillaroptiken Made by Fischer – weltweit einziger Hersteller von Röntgenfluoreszenz-Messgeräten mit eigener Fertigung von Polykapillaroptiken.

Präzise XRF-Messung von Mikrostrukturen auf Wafern.

Das FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ SEMI ist die optimale Messlösung für die vollautomatische Prüfung von Mikrostrukturen auf Wafern. Der automatisierte Wafer-Handling- und Prüfprozess sorgt für eine sehr hohe Effizienz und ermöglicht eine fehlerfreie Handhabung und Vermessung der Wafer aufgrund gleichbleibender Prüfbedingungen durch eine gekapselte Prüfumgebung. Der leistungsfähige Detektor, Mikrofokus-Röhre Ultra und Polykapillaroptiken für kleinste Messflecke garantieren eine herausragende Messperformance.

Die Automationslösung ist als Pre-Engineered Solution erhältlich. Profitieren Sie von einem bestehenden Hard- und Softwaredesign. Gemeinsam modifizieren und adaptieren wir das Automationsgerät entsprechend Ihrer Anforderungen.

Vollständig automatisiert.

Als Selbstläufer entwickelt für einen programmierbaren, reibungslosen Messablauf

Smarte Details für Usability.

Integrierte CCTV-Überwachung des kompletten Handling-Prozesses

Einfache Wartung.

Große Serviceklappen für den Zugang zu einzelnen Komponenten

Digitaler Pulsprozessor DPP+.

Noch kürzere Messzeiten mit derselben Standardabweichung*

*Im Vergleich zum DPP

Reinraumtauglich.

Keine Kontaminierung der Wafer sowie konstante Messbedingungen

Programmierbar.

Automatisches Erkennen und Anfahren der Messpunkte

Fortschrittlichste Polykapillaroptik im Markt.

Unsere inhouse gefertigten Polykapillaroptiken liefern herausragende Messergebnisse bei kurzen Messzeiten

  • Merkmale

      DPP+ für höchste Präzision auch bei kurzen Messzeiten

      Standardisierte SECS/GEM-Kommunikation

      Mikrofokus-Röhre Ultra mit Wolframanode für noch höhere Leistung bei kleinsten Spots mit µ-XRF; Molybdänanode optional

      Silizium-Drift-Detektor 50 mm² für höchste Präzision

      Peltierkühlung

      Polykapillaroptiken für besonders kleine Messflecke von 10 oder 20 µm Halbwertsbreite

      Kompatibel zu Anlieferung durch OHT und AGV

      4-fach wechselbarer Filter

      Präziser, programmierbarer Messtisch mit Vakuum-Wafer-Chuck

  • Anwendungsbeispiele

      Schichtdickenmessung und Elementanalyse von

      • Basis-Metallisierungen im Nanometerbereich
      • C4 und kleinere Lotkugeln
      • Dünne bleifreie Lötkappen auf Kupfersäulen
      • Extrem kleine Kontaktflächen und weitere komplexe 2,5D- und 3D-Packaging-Anwendungen
      • Vollautomatische Prüfung von Mikrostrukturen

      Sie haben weitere Anwendungen? Dann kontaktieren Sie uns! 

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FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI: Automated measurement of wafer microstructures
XRF-Kalibrierung verstehen und beherrschen

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