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FISCHERSCOPE X-RAY 5000

FISCHERSCOPE X-RAY 5000

Das automatisierte RFA-System für die Photovoltaik

Das FISCHERSCOPE® X-RAY 5000 System misst kontinuierlich die Schichtdicke dünner Schichten auf großflächigen Substraten, etwa in der Photovoltaik. Die Geräte dieser Serie bilden modulare Einheiten, die sich leicht in Fertigungsanlagen einbauen lassen. Das X-RAY 500 kann in normaler Atmosphäre sowie auch unter Vakuum betrieben werden. Dabei ist das Messinstrument auf hohe Servicefreundlichkeit ausgelegt. Der Messkopf kann gewartet werden, ohne dass das Vakuum aufgehoben werden muss.

Während der Fertigung kann es zu Bewegung oder Aufwölbung des Produktes kommen – beides kann Messergebnisse beeinflussen. Deswegen verfügt die WinFTM® Software von Fischer über eine Abstandskompensation. So können Schwankungen bis zu 1cm ausgeglichen werden – ohne zusätzliche Abstandssensoren.

Merkmale

  • Kontinuierliche Messung im laufenden Prozess mit Anbindung an das Produktionsleitsystem
  • Flexibel einsetzbar: für Messungen im Vakuum oder an Luft; für Probentemperaturen bis zu 400 °C
  • Optional mit Wasserkühlung lieferbar
  • Besonders robuste Bauweise für dauerhaft präzise Messungen unter rauen Bedingungen
  • Hervorragend für die Schichtdickenmessung und Materialanalyse an großflächigen Produkten geeignet
  • Röntgenquelle, Detektor und Primärfilter lassen sich kundenspezifisch auswählen
  • Systeme erfüllen DIN ISO 3497 und ASTM B 568

Anwendungen

  • Dicke von CIGS-, CIS-, CdTe- und CdS-Schichten in der Solarindustrie
  • Dünne Schichten von wenigen µm auf Metallbändern, Metallfolien und Kunststofffolien
  • Zusammensetzung von CIGS-, CIS-, CdTe- und CdS-Schichten in der Photovoltaik
  • Schichtdickenkontrolle in der kontinuierlichen Fertigung
  • Prozessüberwachung von Sputter- und Galvanikanlagen

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