FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI
Performance dank DPP+
Inhouse produziert & konstant weiterentwickelt²
Kosten-Nutzen-Verhältnis
¹ Signifikant bessere Standardabweichung und somit Messmittelfähigkeit oder deutlich verkürzte Messzeit im Vergleich DPP zu DPP+.
² Polykapillarlinsen, welche ständig weiterentwickelt werden. High-End Kapillaroptiken Made by Fischer – weltweit einziger Hersteller von Röntgenfluoreszenz-Messgeräten mit eigener Fertigung von Polykapillaroptiken.
Präzise XRF-Messung von Mikrostrukturen auf Wafern.
Das FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ SEMI ist die optimale Messlösung für die vollautomatische Prüfung von Mikrostrukturen auf Wafern. Der automatisierte Wafer-Handling- und Prüfprozess sorgt für eine sehr hohe Effizienz und ermöglicht eine fehlerfreie Handhabung und Vermessung der Wafer aufgrund gleichbleibender Prüfbedingungen durch eine gekapselte Prüfumgebung. Der leistungsfähige Detektor, Mikrofokus-Röhre Ultra und Polykapillaroptiken für kleinste Messflecke garantieren eine herausragende Messperformance.
Die Automationslösung ist als Pre-Engineered Solution erhältlich. Profitieren Sie von einem bestehenden Hard- und Softwaredesign. Gemeinsam modifizieren und adaptieren wir das Automationsgerät entsprechend Ihrer Anforderungen.
Vollständig automatisiert.
Perfekt geeignet für den 24/7-Einsatz und reibungslose Messabläufe
Smarte Details für Usability.
Integrierte CCTV-Überwachung des kompletten Handling-Prozesses
Einfache Wartung.
Große Serviceklappen für den Zugang zu einzelnen Komponenten
Digitaler Pulsprozessor DPP+.
Noch kürzere Messzeiten mit derselben Standardabweichung*
*Im Vergleich zum DPP
Reinraumtauglich.
Keine Kontaminierung der Wafer sowie konstante Messbedingungen
Programmierbar.
Automatisierte Messungen an vordefinierten Strukturen dank fortschrittlicher Mustererkennungstechnologie
Fortschrittlichste Polykapillaroptik im Markt.
Unsere inhouse gefertigten Polykapillaroptiken liefern herausragende Messergebnisse bei kurzen Messzeiten
Ideal zur Prüfung von Mikrostrukturen dank leistungsfähigem Silizium-Drift-Detektor und Polykapillaroptiken für kleinste Messflecke.
Mit der Mikrofokus-Röhre Ultra wird die Anregungsintensität deutlich erhöht. Dies sorgt für eine noch höhere Messperformance bei kleinsten Messflecken.
Handling-Roboter bestückt Messgerät mit 6“, 8“ und 12“ Wafer.
Automatisches Andocken und Laden von Wafern in standardisierten FOUPs und Cassettes.
Echtzeit-Übertragung, Auswertung und Export der Messdaten mit WinFTM®, der leistungsstärksten Anwendungssoftware auf dem Markt.
Merkmale
DPP+ für höchste Präzision auch bei kurzen Messzeiten
Standardisierte SECS/GEM-Kommunikation
Mikrofokus-Röhre Ultra mit Wolframanode für noch höhere Leistung bei kleinsten Spots mit µ-XRF; Molybdänanode optional
Silizium-Drift-Detektor 20 oder 50 mm² für höchste Präzision
Peltierkühlung
Polykapillaroptiken für besonders kleine Messflecke von 10 oder 20 µm Halbwertsbreite
Kompatibel zu Anlieferung durch OHT und AGV
4-fach wechselbarer Filter
Präziser, programmierbarer Messtisch mit Vakuum-Wafer-Chuck
Anwendungsbeispiele
- Basis-Metallisierungen im Nanometerbereich
- C4 und kleinere Lotkugeln
- Dünne bleifreie Lötkappen auf Kupfersäulen
- Extrem kleine Kontaktflächen und weitere komplexe 2,5D- und 3D-Packaging-Anwendungen
- Vollautomatische Prüfung von Mikrostrukturen
Schichtdickenmessung und Elementanalyse von
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