Halbleiter

Hochpräzise Schichtdickenmessung und Materialanalyse von ultradünnen Multischichten und Mikrostrukturen
Wie können Sie ultradünne, komplexe Mehrschichtsysteme und Mikrostrukturen zuverlässig messen und analysieren und dabei gleichzeitig höchste Qualitätsstandards in der Halbleiterfertigung einhalten?
Mit unseren RFA-Geräten bieten wir Ihnen leistungsstarke Lösungen zur präzisen Schichtdickenmessung und Materialanalyse Ihrer Silizium- und Verbindungshalbleiter. Egal, ob Sie eine vollautomatisiertes System oder ein kompaktes Tischgerät benötigen, wir liefern Ihnen die passende Messlösung – übrigens auch für elektronische Anwendungen!
Demand the best. Trust FISCHER.
weltbester Messperformance
Lösungen – zugeschnitten auf Ihre Anforderungen
– intuitiv, effizient, leistungsstark
minimale Spotgrößen
FISCHER Kundenservice
mit FISCHER Originalteilen
Anwendungen
Unsere Messtechnik genießt weltweit das Vertrauen zahlreicher Kunden aus der Halbleiter- und Elektronikindustrie. Zuverlässigkeit, Effizienz und vor allem marktführende Messperformance machen unsere Geräte unverzichtbar. Entdecken Sie das breite Anwendungsfeld vom Wafer Packaging und Advanced Packaging bis hin zu Hochleistungshalbleitern und elektronischen Anwendungen, bei denen unsere Lösungen echte, messbare Vorteile bieten.

Leadframes
Leadframes sind zentrale Komponenten in allen grundlegenden Verpackungsprozessen. Als mechanische Stütze und elektrische Verbindung zwischen Chip und den externen Anschlüssen eines Gehäuses sind sie oft mit komplexen Mehrfachbeschichtungen versehen. Diese umfassen i.d.R. Gold- und Palladiumschichten mit Dicken im Nanometerbereich, während die Nickelschicht üblicherweise mehrere Mikrometer dick ist. Die filigrane Struktur von Leadframes in Kombination mit den hauchdünnen Beschichtungen macht Messungen besonders fehleranfällig und erschwert die Qualitätskontrolle erheblich. Finden Sie heraus, wie Sie diese Herausforderungen gemeinsam mit uns angehen können!
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Unsere XRF-Geräte mit Polykapillaroptik, wie z.B. das FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ, eignen sich hervorragend für die Schichtdickenmessung auf den einzelnen Leitungen von Leadframes.
Hauptanwendungen: Schichtdickenmessung von Au/Pd/NiP/CuFe und anderen gängigen Mehrfachschichtsystemen
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Landing Pads
Landing Pads dienen in der Verpackungstechnik für Halbleiter als grundlegende Kontaktpunkte auf einem Chip, z.B. zum Anbringen von Drähten beim Drahtbonden oder von Solder Bumps bei der Flip-Chip-Montage. Da Landing Pads aus Metallen wie Aluminium, Kupfer oder Nickel bestehen, werden sie i.d.R. mit Korrosionsschutz- oder Passivierungsschichten überzogen. Sie suchen nach einer schnellen und zuverlässigen Messlösung?
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Zur zuverlässigen Qualitätskontrolle von Landing Pads werden unser innovatives Nachfolgetischgerät FISCHERSCOPE® XDV® und unser bewährtes FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-SDD besonders häufig und erfolgreich eingesetzt. Darüber hinaus sind auch unsere anderen XRF-Geräte, wie z.B. das FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ oder das FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER, bestens für diese Anwendung geeignet.
Hauptanwendungen: Schichtdickenmessung von Au/Pd/NiP/Cu/Wafersubstrat, Materialanalyse
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BGAs
Ball Grid Arrays (BGAs) sind eine Art Gehäuse für integrierte Schaltkreise (ICs) und Mikroprozessoren, die zur Montage auf Leiterplatten verwendet werden. Sie bieten eine hohe Dichte an Verbindungen und Kontakten, die als mikroskopische Matrix aus Lötkugeln unter dem Gehäuse angeordnet sind. Entdecken Sie unsere leistungsstarken Messlösungen zur schnellen und zuverlässigen Qualitätsprüfung Ihrer BGAs!
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Erleben Sie hochpräzise Qualitätsprüfung mit unserem FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ! Analysieren Sie die Materialzusammensetzung Ihrer BGA-Legierungen – einschließlich der Überprüfung auf Bleifreiheit – schnell, einfach und zuverlässig.
Hauptanwendungen: Materialanalyse von SnPb, SnAgCu
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UBM
Eine qualitativ hochwertige Under-Bump-Metallisierung (UBM) ist entscheidend für die Leistung und Zuverlässigkeit von Flip-Chip-Verbindungen. Sie wird i.d.R. auf Metallpads aufgebracht, um im weiteren Prozessverlauf eine bessere Lötbarkeit und Haftung für die Solder Bumps zu gewährleisten. Darüber hinaus bildet die UBM eine Barriereschicht gegen Metalldiffusion und verbessert so die Verbindung zwischen Chip und Gehäuse. Möchten Sie erfahren, wie unsere Lösungen Sie zuverlässig bei der Messung Ihrer UBM unterstützen können?
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Für die zuverlässige Messung extrem dünner und komplexer Mehrschichtsystemen, worunter auch die UBM fällt, bieten wir Ihnen unsere teilautomatisierten Tischgeräte FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ und FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER sowie unsere vollautomatisierte High-End-Anlage FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI. So können Sie selbst die engsten Toleranzen einhalten und eine hohe Leistungsfähigkeit Ihrer elektronischen Bauteile sicherstellen.
Hauptanwendungen: Schichtdickenmessung und Materialanalyse von Au/Ni/Ti/Metallpad/Wafersubstrat, Au/Ni/Cu/Ti/Metallpad/Wafersubstrat, Pd/Ni/Cu/Metallpad/Wafersubstrat
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Solder Bumps
In der Flip-Chip-Montage oder Advanced-Packaging-Prozessen, wie Wafer-Level-, 2,5D- und 3D-Packaging-Technologien, werden Solder Bumps, Copper Pillar Bumps und Gold Bumps eingesetzt, um Chips mit dem Substrat oder mit Wafern auf einem Substrat (CoWoS) zu verbinden. Aus Kostengründen und abhängig von ihrer spezifischen Funktion spielen die genaue Materialzusammensetzung – insbesondere die SnAg-Konzentration – der verschiedenen Bump-Typen sowie die Beschichtungsdicke eine wichtige Rolle. Entdecken Sie unsere Messlösungen für diese Herausforderung!
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Mit unseren High-End-XRF-Geräten, wie dem FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ, FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER und dem FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI, können Sie präzise und zuverlässig die Materialzusammensetzung, Höhe und Schichtdicke Ihrer Bumps messen.
Hauptanwendungen: Materialanalyse und Messung der Bump-Höhe von Solder und Copper Pillar Bumps mit gängigen Materialzusammensetzungen wie Sn/Ag oder SnAg/Cu mit Ag zwischen 1 % und 3 %, Schichtdickenmessung von Gold Bumps, z.B. Au/Ni/Cu/UBM/Metallpad/Wafersubstrat
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RDLs
Redistribution Layers (RDLs) sind kritische Komponenten beim Wafer-Level-Packaging (WLP) und vor allem bei besonders anspruchsvollen Technologien wie dem Wafer-Level Chip Scale Packaging (WLCSP). Sie werden eingesetzt, um die Verbindungspositionen eines Chips so umzuverteilen, dass sie zu einem standardisierten Layout für verschiedene Gehäusedesigns passen. Da die Leiterbahnen in RDLs meist aus Kupfer bestehen, werden zusätzlich dünne Beschichten aus Titan, Chrom oder Nickel aufgebracht, um eine Kupferdiffusion in die Isoliermaterialien zu verhindern und eine bessere Haftung zu erzielen. Erfahren Sie hier, wie zuverlässig unsere Messlösungen Sie bei der Messung Ihrer RDLs unterstützen!
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Messen Sie Ihre RDLs hochpräzise und zuverlässig mit unserem FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ, FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER oder FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI.
Hauptanwendungen: Materialanalyse und Schichtdickenmessung von RDLs, z.B. Ti/Cu
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Rückseitenmetallisierung
Bei der Herstellung von Hochleistungshalbleitern und Sensoren, wie z.B. MEMS-Sensoren, ist die Rückseitenmetallisierung ein wichtiger Prozessschritt. Durch die gezielte Auswahl und Kombination der Schichten lässt sich die Rückseitenmetallisierung optimal auf die elektrischen, mechanischen und thermischen Anforderungen des jeweiligen Halbleiterbauelements abstimmen. Sie suchen nach einer Messlösung zur Prüfung der Rückseitenmetallisierung auf Ihren Wafern?
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Mit unserem innovativen Nachfolgetischgerät FISCHERSCOPE® XDV® oder unserem bewährten FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-SDD können Sie die Dicke und Materialzusammensetzung Ihrer Rückseitenmetallisierungen präzise messen und damit die Qualität Ihrer Beschichtungsprozesse sicherstellen. Passend zu Ihrer Messaufgabe bieten wir auch kundenspezifische Lösungen an, wie z.B. Wafer-Chucks zur Messung dickerer Metallschichten.
Hauptanwendungen: Schichtdickenmessung und Materialanalyse von gängigen Mehrschichtsystemen, wie z.B. Ag/Ni/Ti/Al/Wafersubstrat
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Federkontakte/Pogo-Pins
Pogo-Pins sind federbasierte Steckkontakte, die zur Qualitätsprüfung über sogenannte Prüfkarten an die Wafer angeschlossen werden. Auf diese Weise können die elektrischen Eigenschaften der einzelnen Chips überprüft werden, bevor der Wafer zerschnitten wird. Um bei dieser Art von Wafertest absolut zuverlässige Ergebnisse zu erzielen, müssen die funktionalen Beschichtungen der Pogo-Pins von einwandfreier Qualität sein. Zur Beschichtungsprüfung kommen unsere XRF-Geräte zum Einsatz. Entdecken Sie unsere leistungsstarken Messlösungen zur einfachen und präzisen Qualitätsprüfung Ihrer Pogo-Pins!
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Messen Sie Ihre Pogo-Pins mit unserem FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ oder FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ LD für besonders komplex geformte Federkontakte.
Hauptanwendungen: Schichtdickenmessung, z.B. von Au/Ni/Cu-Legierung
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Get in touch
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Unsere Lösungen für Ihre Herausforderungen

Hauptanwendungen
Rückseitenmetallisierung, Landing Pads, Micro Pads, RoHS-Screening
Ihre Herausforderungen
- Messung vieler verschiedener Legierungen & komplexer Mehrfachschichten
- Messung kleiner & großflächiger Proben
- Spurenelementanalysen bei sehr niedrigen Nachweisgrenzen
Unsere Produkthighlights
- Verschiedene Kollimatorgrößen bis zu 3 mm & Filter für den universellen Einsatz
- Höchste Präzision & kurze Messzeiten dank optimierter Komponenten & Messgeometrie
- Programmierbarer Messtisch für automatisierte Messungen
- Marktführende Software mit effizienten Workflows

Hauptanwendungen
Leadframes, Bonding-Drähte, Solder Bumps, Micro Pads, SMD-Bauteile, Pogo-Pins, BGAs, UBMs, RDLs
Ihre Herausforderungen
- Messung von Mikrostrukturen
- Messung von flachen Proben & ultradünnen Mehrfachschichten
Unsere Produkthighlights
- Verschiedene Filter-, Detektor- & Polykapillaroptik-Optionen für kleinste Messflecke & höchste Präzision
- C-Schlitz-Gehäuse zur einfachen Handhabung von flachen, großflächigen Proben
- Marktführende Software für anspruchsvolle Messaufgaben

Hauptanwendungen
Bestückte Leiterplatten, Steckverbinder, Pogo-Pins
Ihre Herausforderungen
- Umgang mit unterschiedlichen Probengrößen & komplexen Probenformen
- Messung von Proben mit darauf montierten Baugruppen oder auf unterschiedlichen Ebenen
- Messung von Mikrostrukturen
- Messung von ultradünnen Mehrfachschichten
Unsere Produkthighlights
- Messen Sie selbst kleinste Strukturen auf komplex geformten Proben – dank unserer einzigartigen 35-µm-Polylapillaroptik mit großem Messabstand, ideal für verformte Wafer
- C-Schlitz-Gehäuse zur einfachen Handhabung von flachen, großflächigen Proben
- Marktführende Software für anspruchsvolle Messaufgaben

Hauptanwendungen
Solder Bumps, Copper Pillar Bumps, Gold Bumps, kleine Kontaktflächen, Micro Pads, UBMs, RDLs
Ihre Herausforderungen
- Messung von dünnen Schichten & Mikrostrukturen auf Wafern mit Durchmessern von 6'' bis 12''
- Messung von verformten Wafern
- Erfüllung von Reinraumanforderungen
Unsere Produkthighlights
- Verschiedene Detektor- und Polykapillaroptik-Optionen für höchste Präzision bei dünnen Schichten
- Vakuum-Waferchuck oder kundenspezifisches Wafer-Handling-System mit mechanischem Planen der Wafer
- Umfangreiche Automatisierungsoptionen mit marktführender Software

Hauptanwendungen
Solder Bumps, Copper Pillar Bumps, Gold Bumps, kleine Kontaktflächen, Micro Pads, UBMs, RDLs
Ihre Herausforderungen
- Automatisierung Ihres Wafer-Messprozesses
- Bewältigung eines hohen Probendurchsatzes
- Messung von verformten Wafern
- Erfüllung von Reinraumanforderungen
Unsere Produkthighlights
- Vollautomatisches Messsystem mit integriertem FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER & automatisiertem Wafer-Handling-System
- Verschiedene Detektor- & Polykapillaroptik-Optionen für höchste Präzision bei dünnen Schichten
- Marktführende Software zur Steigerung Ihrer Effizienz
Die passende Lösung für Ihre Messaufgabe.
Individuelle Systemkonfiguration nach Wunsch – voll- oder teilautomatisiert. Auf Ihre Anwendung abgestimmt, integrieren wir zusätzliche Prozessschritte, wie z.B. das mechanische Planen von Wafern. Durch die Zusammenarbeit mit lokalen Integrationspartnern vermeiden wir lange Lieferzeiten.
Neben XRF bieten wir auch weitere Messverfahren an. Für weitere Informationen kontaktieren Sie uns gerne!